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華為/海思半導(dǎo)體特氣項目

合作時間:2013年

預(yù)算金額:390萬元

氣體種類:壓縮干燥空氣(CDA)、高純氮(PN2)、高純氫氣(PH2)、真空(Vac)、氬氣 (Ar) 、氦氣 (He)管道系統(tǒng);特氣系統(tǒng)包括硅烷(SiH4)、5%硅烷(5%SiH4)、 氨氣(NH?)、氯氣(Cl?)、磷化氫(PH3)、砷化氫(AsH3)、鍺烷(GeH4)、乙硼烷(B2H6)、一氧化二氮(N2O)、四氟化碳(CF4)、三氟甲烷(CHF3)


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