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泉州三安半導(dǎo)體

合作時間:2020年

預(yù)算金額:1860萬元

氣體種類:高純氮(PN2)、普氮(GN2)、三氯化硼(BCL3)、 氨氣(NH3)、 4%氫氣-氮氣混合氣體(4%H2/N2) 、氯氣(CL2) 、含1%的氟和1.2%氪氖混合氣(1%F2/1.2%Kr/Ne)、三氟甲烷(CHF3) 、四氟化碳( CF4)、二氧化碳(CO?)、高純氬氣( PAr)、 高純氧(PO2) 、高純氦氣( PHe)、1.2%氪氖混合氣(1.2%Kr/Ne)


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